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氮气柜技术参数  
内腔尺寸W600mm×D600mm×H600mm  
材质外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢  
温度范围RT+10-300℃  
温度分辨率0.1℃  
温度波动度＜±0.5℃  
温度均匀度≤±1.5%  
洁净度class100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境  
电源及总功率AC380V±10%/50HZ总功率约15.0KW  
升温速度5-8℃/min  
降温速度降温5℃/min或自定义  
氧含量  
高温状态氧含量：≤20ppm+气源氧含量  
低温状态氧含量：≤50ppm+气源氧含量  
氮气柜概述  
无氧化烤箱箱体内装有氧含量分析仪，全称检测氧含量，可设置超标报警功能。排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N2流量计控制进气量。  
翅片式水冷散热器，冷却水通过散热器快速带走更多的热量，使得箱内温度快速下降，缩短降温时间，提高生产效率。

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